廠房內人員比較密集，面積比不是很大，無發熱量高的設備，廠房內通風換氣次數應設計為30-40次每小時，主要是為增加廠房內空氣含氧量和污濁的空氣快速排出。人員分布不是很密集，廠房面積比較大，自然通風條件比較好，廠房內沒有高發熱源設備，室內溫度低於32度的廠房，廠房通風換氣次數設計為2通風設備5-30次每小時就可以啦。廠房內有發熱量大的設備，工業水冷扇室內人員密集，廠房內空氣溫度有高溫悶熱情況，廠房通風換氣次數應設計為40-50次每小時，主要是為了讓高溫悶熱的空氣迅速排出室外，降低室內環境溫度，增加廠房內空氣含氧量。
台積電3奈米廠被國家視為重大投資案，政府、民間高度重視。環保署環評大會昨日通過此案，完成推進3奈米廠最後一塊拼圖，可望領先全球。不過，未來台電能否如期供應足夠電力，將是影響成敗關鍵之一。
台積電製程技術獨步全球，隨5奈米製工廠降溫程將於明年試產，3奈米技術也已到位，台積電總裁魏哲家負壓排風扇曾表示，一切只差環評通過，就可以邁向3奈米製程。
台積電3奈米投資計畫通過環評審查，意謂台積電在南科晶圓18廠的第四到六期新廠興建，可望在明年動工，並如台積電創辦人張忠謀所言，如期在2022年量產，成為全球第一個提供3奈米代工服務的晶圓代工廠。
一般觀念都知道熱空氣上升的原理,所以在屋頂開設太子樓或裝設自然通風球，但都還是無法達到改善悶熱及通風不良的困擾。負壓排風扇利用空氣對流原理將廠內熱氣、穢氣完全排出廠外，由裝設地點的對向，大門或窗戶補入新空氣，可計算整廠每秒的風速，每小時的換氣次數任何悶熱、通風不良等問題均可改善。要作好一件通風工程，必須精確計算面積、體積、斷面積及正確器材之選擇才能完全解決通風不良 、 悶熱的困擾。
台積電3奈米計畫主要在南科的晶圓18廠，台積電內部將5奈米和3奈米視為同一計畫，全數集中在晶圓18廠，目前也調派菁英部隊，全力督軍建廠工程，台積電甚至在竹部成立研發中心，全力投注3奈米及以下先進制程，估計台積電從5奈米到3奈米製程，投資總額即超過1.5兆，帶動的群聚效應更是驚人。
其實台積電在環評大會中，一直都被視為「模範生」，加上在此案中，台積電資深處長莊子壽曾霸氣承諾，未來將採用20%綠電，案件本身爭議不大，順利通過環評並不意外。
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